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迈为股份取得实用新型专利授权:“大面积等离子体放电结构及真空镀膜设备”
证券之星音讯,依据天眼查APP多个方面数据显现迈为股份(300751)新取得一项实用新型专利授权,专利名为“大面积等离子体放电结构及真空镀膜设备”,专利请求号为CN6.1,授权日为2024年9月17日。
专利摘要:本请求触及一种大面积等离子体放电结构及真空镀膜设备。大面积等离子体放电结构包含上电极模组和下电极模组,上电极模组与下电极模组间构成有镀膜电场,上电极模组包含背板、喷淋头及介质板,背板衔接射频电源及用于通入工艺气体;喷淋头装置于所述背板,其违背背板的一侧具有洼陷部;介质板与喷淋头可拆卸衔接,介质板接近喷淋头的一侧朝向洼陷部,介质板的数量为多个,多个介质板相搭接构成整个上电极模组的下外表。经过上述设置,介质板与喷淋头之间构成中心空间大、边际空间小的真空放电区域,削弱射频源中电信号横向的驻波效应的影响,确保阴极模组与阳极模组之间构成的镀膜电场的均匀性,提高镀膜过程中膜层的均匀性。
本年以来迈为股份新取得专利授权71个,较去年同期增加了44.9%。结合公司2024年中报财务数据,本年上半年公司在研制方面投入了4.19亿元,同比增47.24%。
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